Chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng ZnO : Al và màng mỏng ZnO:Mn bằng phương pháp phún xạ RF Magneton : Đề tài NCKH. QT.03.05

Abstract

Đề tài nghiên cứu và chế tạo màng Zn pha tạp Al (thuộc nhóm III) để làm tăng độ dẫn điện và tính ổn định của màng, đồng thời khảo sát tính chất quang, huỳnh quang của nó. Nghiên cứu và chế tạo màng ZnO pha tạp Mn (thuộc nhóm 3d) với các nồng độ khác nhau và khảo sát tính chất của màng khi có tạp chất mang tính chất từ