Xây dựng hệ tạo đĩa nanô ZnO pha tạo In, tìm chế độ công nghệ chế tạo đĩa nano ZnO:In trên đế Si và khảo sát tính chất vật lý của chúng, chế tạo các bia ZnO:In và P với các nồng độ khác nhau, chế tạo các màng ZnO pha tạp In, P và N với các hàm lượng khác nhau, khảo sát các màng đã chế tạo trên các thiết bị hiện đại đã được trang bị Thư mục CSDL công trình NCKH ĐHQGHN 2006 - 2010 Chế tạo thành công màng dẫn trong suốt ZnO pha tạp In bằng phương pháp phún xạ r.f.magnetron, với độ truyền qua cỡ 90% và điện trở suất thấp cỡ 4.510 ôm cm Chế tạo thành công đĩa nano ZnO pha tạp In có dạng lục giác, kích thước đường chéo 1-5 micro met và độ dày từ 40-100 nm bằng phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản. các đĩa Zno: In được khảo sát tính chất vật lý một cách kỹ lưỡng Hướng dẫn 3 khóa luận, 1 luận văn Đã chế tạo thành công màng Zno:P và N loại p bằng phương pháp phún xạ r.f.magnetron với áp suất riêng của khí N2 là 40% so với khí Ar, đối với bia gốm ZnO:P với hàm lượng 2%
Readership Map
Content Distribution
Xây dựng hệ tạo đĩa nanô ZnO pha tạo In, tìm chế độ công nghệ chế tạo đĩa nano ZnO:In trên đế Si và khảo sát tính chất vật lý của chúng, chế tạo các bia ZnO:In và P với các nồng độ khác nhau, chế tạo các màng ZnO pha tạp In, P và N với các hàm lượng khác nhau, khảo sát các màng đã chế tạo trên các thiết bị hiện đại đã được trang bị Thư mục CSDL công trình NCKH ĐHQGHN 2006 - 2010 Chế tạo thành công màng dẫn trong suốt ZnO pha tạp In bằng phương pháp phún xạ r.f.magnetron, với độ truyền qua cỡ 90% và điện trở suất thấp cỡ 4.510 ôm cm Chế tạo thành công đĩa nano ZnO pha tạp In có dạng lục giác, kích thước đường chéo 1-5 micro met và độ dày từ 40-100 nm bằng phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản. các đĩa Zno: In được khảo sát tính chất vật lý một cách kỹ lưỡng Hướng dẫn 3 khóa luận, 1 luận văn Đã chế tạo thành công màng Zno:P và N loại p bằng phương pháp phún xạ r.f.magnetron với áp suất riêng của khí N2 là 40% so với khí Ar, đối với bia gốm ZnO:P với hàm lượng 2%
