Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32

Abstract

Chế tạo bia ZnO từ bột ZnO của hãng Merck bằng phương pháp gốm truyền thống trên các thiết bị của dự án OPEC. Chế tạo màng Pd bằng phương pháp bốc bay nhiệt trong chân không, độ dày của màng kim loại biến đổi từ vài chục đến hơn một trăm nanômet. Chế tạo tổ hợp của cấu trúc sensơ nhạy khí Pd/ZnO/p-Si và Pd/ZnO/Zn. Khảo sát tính chất của màng ZnO và màng Pd. Làm chủ được thiết bị Univex - 450 của hãng Leybold. Đánh giá độ nhạy của các senso đã chế tạo trong buồng đo với các nồng độ khí hyđro khác nhau. Để thực hiện được mục tiêu nêu ở trên, để tài đã giải quyết được các vấn đề sau: Chế tạo màng ZnO có chất lượng cao bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron trên thiết bị Univex -450 của hãng Leybold